蚀刻工艺专利

1、手机CPU晶体管的设计思路是怎样的？

要了解CPU的生产工艺，我们需要先知道CPU是怎么被制造出来的。
（1） 硅提纯
生产CPU等芯片的材料是半导体，现阶段主要的材料是硅Si，这是一种非金属元素，从化学的角度来看，由于它处于元素周期表中金属元素区与非金属元素区的交界处，所以具有半导体的性质，适合于制造各种微小的晶体管，是目前最适宜于制造现代大规模集成电路的材料之一。 在硅提纯的过程中，原材料硅将被熔化，并放进一个巨大的石英熔炉。这时向熔炉里放入一颗晶种，以便硅晶体围着这颗晶种生长，直到形成一个几近完美的单晶硅。以往的硅锭的直径大都是300毫米，而CPU厂商正在增加300毫米晶圆的生产。
（2）切割晶圆
硅锭造出来了，并被整型成一个完美的圆柱体，接下来将被切割成片状，称为晶圆。晶圆才被真正用于CPU的制造。所谓的“切割晶圆”也就是用机器从单晶硅棒上切割下一片事先确定规格的硅晶片，并将其划分成多个细小的区域，每个区域都将成为一个CPU的内核(Die)。一般来说，晶圆切得越薄，相同量的硅材料能够制造的CPU成品就越多。
（3）影印（Photolithography）
在经过热处理得到的硅氧化物层上面涂敷一种光阻(Photoresist)物质，紫外线通过印制着CPU复杂电路结构图样的模板照射硅基片，被紫外线照射的地方光阻物质溶解。而为了避免让不需要被曝光的区域也受到光的干扰，必须制作遮罩来遮蔽这些区域。这是个相当复杂的过程，每一个遮罩的复杂程度得用10GB数据来描述。
（4）蚀刻(Etching)
这是CPU生产过程中重要操作，也是CPU工业中的重头技术。蚀刻技术把对光的应用推向了极限。蚀刻使用的是波长很短的紫外光并配合很大的镜头。短波长的光将透过这些石英遮罩的孔照在光敏抗蚀膜上，使之曝光。接下来停止光照并移除遮罩，使用特定的化学溶液清洗掉被曝光的光敏抗蚀膜，以及在下面紧贴着抗蚀膜的一层硅。 然后，曝光的硅将被原子轰击，使得暴露的硅基片局部掺杂，从而改变这些区域的导电状态，以制造出N井或P井，结合上面制造的基片，CPU的门电路就完成了。
（5）重复、分层
为加工新的一层电路，再次生长硅氧化物，然后沉积一层多晶硅，涂敷光阻物质，重复影印、蚀刻过程，得到含多晶硅和硅氧化物的沟槽结构。重复多遍，形成一个3D的结构，这才是最终的CPU的核心。每几层中间都要填上金属作为导体。Intel的Pentium 4处理器有7层，而AMD的Athlon 64则达到了9层。层数决定于设计时CPU的布局，以及通过的电流大小。
（6）封装
这时的CPU是一块块晶圆，它还不能直接被用户使用，必须将它封入一个陶瓷的或塑料的封壳中，这样它就可以很容易地装在一块电路板上了。封装结构各有不同，但越高级的CPU封装也越复杂，新的封装往往能带来芯片电气性能和稳定性的提升，并能间接地为主频的提升提供坚实可靠的基础。

2、手工怎么制作麦克风

本发明专利技术公开了一种麦克风及制作方法，涉及半导体技术领域。其中，本发明专利技术的一种麦克风包括：由背极板和振动膜极板组成的电容器；其中，振动膜极板上包括一个或多个孔。这样的麦克风的振动膜极板上包括孔，能够允许压缩空气从孔中穿过，从而减少对振动膜极板的压力，降低振动膜极板断裂的可能性，提高麦克风的抗声性能。
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【技术实现步骤摘要】
麦克风及制作方法
本申请涉及半导体
，特别是一种麦克风及制作方法。
技术介绍
麦克风作为一种电容式传声器，能够通过测量声波穿过大气或液体时所产生的声压产生相应的电信号。微机电系统麦克风(MEMSmicrophone)的基本结构包括一个振动膜极板和一个背极板，其中振动膜极板为实心板(称作振动膜)。振动膜在入射声波作用下会产生形变，从而改变平行板电容器的电容值。为了保证声压信号对振动膜极板产生的形变影响，振动膜极板的厚度较薄，因此其强度往往是有限的。随着入射声波的强度的增大，振动膜极板的振幅越来越大，甚至会发生断裂。APT(AirPressureTest，空气压力测试)是一种能够反应麦克风抗声性能的实验。随着客户需求的逐渐提高，对APT测试中振动膜极板的抗声性能的要求也不断提高。
技术实现思路
本专利技术的一个的目的在于提高麦克风的抗声性能。根据本专利技术的一个实施例，提供了一种麦克风，包括：由背极板和振动膜极板组成的电容器；其中，振动膜极板上包括一个或多个孔。可选地，孔的直径不大于18μm。可选地，孔在振动膜极板上呈由中心向四周发散式分布。可选地，孔在振动膜极板上呈中心对称分布。可选地，孔呈同心方环式或同心圆环式分布。可选地，孔的数量在1～500之间。可选地，振动膜极板为多晶硅薄膜。这样的麦克风的振动膜极板上包括孔，能够允许压缩空气从孔中穿过，从而减少对振动膜极板的压力，降低振动膜极板断裂的可能性，提高麦克风的抗声性能。根据本专利技术的另一个实施例，提出一种麦克风制作方法，包括：在绝缘层上方形成振动膜极板；在振动膜极板上形成孔；在振动膜极板上方形成牺牲层；...

【技术保护点】
1.一种麦克风，包括：由背极板和振动膜极板组成的电容器；其中，所述振动膜极板上包括一个或多个孔。

【技术特征摘要】
1.一种麦克风，包括：由背极板和振动膜极板组成的电容器；其中，所述振动膜极板上包括一个或多个孔。2.根据权利要求1所述的麦克风，所述孔的直径不大于18μm。3.根据权利要求1所述的麦克风，所述孔在所述振动膜极板上呈由中心向四周发散式分布。4.根据权利要求1所述的麦克风，所述孔在所述振动膜极板上呈中心对称分布。5.根据权利要求3或4所述的麦克风，所述孔呈同心方环式或同心圆环式分布。6.根据权利要求5所述的麦克风，所述孔的数量在1～500之间。7.根据权利要求1所述的麦克风，所述振动膜极板为多晶硅薄膜。8.一种麦克风制作方法，包括：在绝缘层上方形成振动膜极板；在所述振动膜极板上形成孔；在所述振动膜极板上方形成牺牲层；在所述牺牲层上方形成背极板，和位于所述背极板的上方的支撑层；通过蚀刻工艺去除所述绝缘层和所述牺牲层。9.根据权利要求8所述的方法，所述在所述振动膜极板上形成孔包括：在所述振动膜极板上方形成图案化的掩模，所述掩模决定了所述孔的位置和尺寸；以所述图案化的掩模为掩...

3、国内康巴赫有几个工厂

8个。

康巴赫，锅具品牌，产品以蜂窝锅为主要，还包括煎锅、奶锅、汤锅等。康巴赫以专做蜂窝锅为己任，坚持以用户为中心，从用户体验出发，已形成完备的研发、生产、销售系统。康巴赫拥有蜂窝锅、炒锅、平底锅、煲汤锅、奶锅、厨房配件等。

为解决传统不粘锅涂层易脱落，可能有损健康的问题，康巴赫将蚀刻工艺运用于不粘锅，打造出全新品类——蜂窝锅，并申请了德国技术专利。康巴赫将蜂窝锅带到千家万户，引领全球锅具行业进入一次重大的变革。

2019年，康巴赫成为全球销量第一的高端蜂窝锅品牌。全球每售出10口高端蜂窝锅，有8口来自于康巴赫。

4、和“光刻机”同样重要的“刻蚀机”是怎样造出来的？

光刻机和刻蚀机的区别：

刻蚀相对光刻要容易。光刻机把图案印上去，然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案（或者没有图案）的部分，留下剩余的部分。

“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆（或者叫硅片）上盖上事先做好的光刻板，然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质，易于腐蚀。

“刻蚀”是光刻后，用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉（正胶），晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀，形成半导体器件及其电路。

1944年，尹志尧出生在北京的一个爱国家庭，他的祖父是公费留学生，父亲也曾留学日本然后又回到祖国，为国家做贡献。

1962年尹志尧顺利考入中国科学技术大学化学物理系，1968年顺利毕业后，他先后分配到兰州炼油厂和中科院兰州物理化学所工作，1978年，尹志尧再接再厉又进入到北京大学化学系攻读硕士学位，1980年他又前往美国加利福尼亚大学洛杉矶分校，继续深造在获得物理化学博士学位。

之后尹志尧在硅谷工作了20年在此期间先进入到英特尔公司，1986年尹志尧受邀加入到L5M，主要负责等离子体刻蚀设备的研发，1991年应用材料公司请他担任等离子刻蚀总部的工程及技术主管。为了避免知识产权方面的问题，他带领团队从头开始，仅用了九年时间，就让应用材料公司占据国际刻蚀机设备市场的40%

尹志尧在半导体行业，有86项美国专利，和200多项各国专利，并被公认为是硅谷最有成就的华人之一。

然而就在60岁退休之际，尹志尧做出了一个大胆的决定，他带着自己的15人团队回到了中国，2004年，他创办了中微半导体公司，让中国突破了刻蚀机的技术垄断奠定了我国自主生产芯片的技术，如今，中微半导体公司生产的刻蚀机在米粒上刻一亿个字到十亿个字的突破，而尹志尧对祖国的贡献还在继续。

5、有谁写过蚀刻液循环系统专利方面技术撰写资料

蚀刻比较冷门，对蚀刻做深入研究的很少，在百度文库中搜索不到类似文献，我也是做蚀刻的，希望能与你一起探讨。

6、不绣钢蚀刻加工能成什么？

蚀刻加工要注意材料的规格，这和流程工艺有关，通常的金属蚀刻都要先进行盖油曝光处理，能蚀刻多大的材料这取决于你的曝光设备和盖油设备，做这类产品时一定要先考虑到这样的情况！当然也有进行手工喷油和自然曝光的，这样做只能做粗产品，也就是工艺要求要精细的就不可采用这种方式！蚀刻加工有不同的工艺形式：有蚀刻表层图纹的，这没有浮突感，也有半腐，也就是蚀刻材料一半的深度，一般做徽章标牌类的要这种工艺，还有就是镂空蚀刻！直接将你想要的图案蚀刻穿。这一般需要大型腐蚀机才能达到这样的效果。

7、什么是湿法刻蚀

申请专利号 CN01817645.3
专利申请日 2001.09.20
名称 湿法刻蚀方法
公开（公告）号 CN1469939
公开（公告）日 2004.01.21
类别 化学；冶金
颁证日
优先权 2000.9.20 SE 0003345－6;2000.9.20 US 60/234,184
申请（专利权） 奥博杜卡特股份公司
地址 瑞典马尔默
发明（设计）人 比加尼·比加纳森;佩·比德森
国际申请 PCT/SE01/02012 2001.9.20
国际公布 WO02/24977 英 2002.3.28
进入国家日期 2003.04.18
专利代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 王永刚
摘要
在刻蚀中，用于刻蚀基板(1)的刻蚀剂(4)按给定图形施加。在刻蚀之前，在基板(1)上按所述图形涂覆抗蚀剂层(2)，以限定出基板(1)的至少一个露出部分(3)。为了使底蚀最小，在刻蚀之前，在基板(1)上设置钝化物质也限定所述图形，即在露出部分(3)的周围。刻蚀期间钝化物质在周围形成刻蚀保护化合物。
主权项
1.一种基板(1)的湿法刻蚀方法，其中施加刻蚀剂(4)用于按给定的图形刻蚀基板(1)，特征在于钝化物质设置在基板(1)上以限定所述图形，并且在于刻蚀期间钝化物质形成限定基板(1)上所述图形的刻蚀保护化合物，其中钝化物质包括与刻蚀期间含在刻蚀剂(4)中的成分反应的有效物质，形成刻蚀保护化合物，其中刻蚀剂(4)为溶液，其中有效物质包括溶解在刻蚀剂(4)中并与所述成分形成化合物的离子，该化合物至少在溶液中难以溶解。

8、康巴赫锅具是在国内哪里生产的？

是浙江。

2012年，浙江巴赫厨具有限公司成立。

2013年，康巴赫品牌成立，康巴赫第一代蜂窝锅。

2014年，康巴赫入驻家乐福、永辉等大型连锁卖场,覆盖全国多个省份。

康巴赫旗下销售的产品以蜂窝锅为主，还有炒锅、煎锅、奶汤锅、电饭煲以及厨房配件类。

康巴赫不仅拥有蜂窝锅、还包括其他炒锅、平底锅、煲汤锅、奶锅、厨房配件等，浙江巴赫厨具有限公司是集研发，生产，销售和服务为一体的企业，拥有多项专利，员工人数高达1000人，建筑面积高达9万平万米。

康巴赫不粘锅

康巴赫经过多年研发，发明了蜂窝不粘技术，该技术是通过德国蚀刻工艺，在锅壁内蚀刻出凹凸的精细纹理。其中，凸出部分构成一张无涂层的蜂窝网状结构，不粘层仅覆盖在纹理凹陷处，直接降低了不粘层在锅壁内的覆盖面积，并且有效解决了锅铲与涂层接触而致脱落的问题。

得益于蜂窝网状纹理的凹凸结构，锅铲与不粘层零接触，不惧金属锅铲翻炒，有效降低不粘层脱落的可能性；不仅如此，高温作用下的蜂窝纹理凹陷处会形成高温水蒸气膜，介于食材与锅底之间，让食材受热均匀，使得烹饪过程更轻松，很好的做到隔离涂层。

以上内容参考：网络-康巴赫

9、蜂窝炒锅怎么开锅

蜂窝炒锅开锅用清水冲洗干净，去除锅内的标签纸，再蘸点洗洁精清洗后，开小火用肥猪油反复擦拭3-4分钟即可。新买的蜂窝锅不能直接开始使用，而要先进行开锅处理，是为了使得蜂窝锅的寿命延长。

蜂窝炒锅怎么开锅
蜂窝炒锅是应用蜂窝不粘专利技术制作的新型不粘锅，通过德国蚀刻工艺在锅壁内蚀刻出凹凸纹理，解决不粘锅涂层脱落的问题，实现隔离涂层物理不粘。

蜂窝炒锅凸出部分构成一张无涂层的蜂窝网状结构，不粘层仅覆盖在纹理凹陷处，直接降低了不粘层在锅壁内的覆盖面积，并且有效解决了锅铲与涂层接触而致脱落的问题。

蜂窝炒锅具有无油烟、不粘锅、受热快、易清洁、锅体寿命长、智能硅胶感温环设计和精准控制油温等特点。

10、怎么在金属上打印蚀刻如何进行，用什么打印

不知道准备在什么工件上进行打印或者蚀刻，工件不同，采用的工艺也是不同的。如果仅仅是一般的打标性质的打印方法就有很多，比如激光打标、电解打标、气动打标等。如果仅仅需要印刷上一些图案或者文字，可以采用丝印、喷印、移印等诸多工艺。而如果需要在金属上需要一定深度的立体图案，所牵涉的工艺就是蚀刻上漆了。所以最好能够交代清楚，究竟是什么工件，所需达到的最终效果是什么，才能有的放矢，找到合适的工艺。